真空炉选择机械泵方法

摘要: 1、先针对真空炉内所烧结的材料,了解被抽出材料气体成分,气体中含不含腐蚀性气体或者其他可凝蒸气和颗粒灰尘等物质。在选择真空泵时,需要清楚气体相应成分,针对被抽气体选择适合的机械泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 2、机械泵在其工作压强下,应选择能排

 1、先针对真空炉内所烧结的材料,了解被抽出材料气体成分,气体中含不含腐蚀性气体或者其他可凝蒸气和颗粒灰尘等物质。在选择真空泵时,需要清楚气体相应成分,针对被抽气体选择适合的机械泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
 
2、机械泵在其工作压强下,应选择能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量的机械泵。
3、在组合高真空泵时搭配要合理。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
4、机械泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施,晶体生长炉就不适合选择震动大的机械泵,会破坏晶粒。
5、机械泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
6、机械泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
7、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
8、正确地选择机械泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环机械泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

常见问题(FAQ)

这篇文章主要讲了什么?
 1、先针对真空炉内所烧结的材料,了解被抽出材料气体成分,气体中含不含腐蚀性气体或者其他可凝蒸气和颗粒灰尘等物质。在选择真空泵时,需要清楚气体相应成分,针对被抽气体选择适合的机械泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 2、机械泵在其工作压强下,应选择能排
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