探针台电动拉伸晶圆测试失效分析IV测试光电流测试Mapping架探针座

◆单筒激光显微成像系统采用无限远光学系统，集正置、倒置金相显微镜的优点于一身，大工作距离，落射照明和高分辨率无限远光学成像系统

◆2000W 像素高清 CCD，200 倍放大，HDMI 输出支持，有录像和拍照功能    

◆调节精度3 微米，整体材7075航空铝合金

◆XYZ 轴行程分别是 13mm行程可调磁性吸附固定

◆底部蜂窝芯面包板，M6 螺纹孔，25*25mm 孔距，带有橡胶隔振地脚

◆中间两维调节样品架，XY 轴行程4 英寸整体分辨率 3 um

◆电动调焦装置采用进口高品质滚珠螺杆驱动，重复定位精度高、寿命长

◆搭配 DMC系列运动控制器，可以实现手动调节速度以及步进位移量

◆超薄四轴电动拉伸台配合运动控制，两轴电动控制，搭配软件实现自动控制，软件支持 labview集成开发（可根据客户要求定制生产）

◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等